SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明(guǎngmíng)源将(jiāng)参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体(bàndǎotǐ)展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位，现场交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新应用，共探制程优化新路径。 172nm MINI实验模组(mózǔ) 新品首发 本次展会，广明源(yuán)将首发推出自主研发的新品——172nm MINI实验模组(mózǔ)。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量(xiǎopīliàng)试产环节设计，具备结构精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等特点，适配多种实验环境与(yǔ)制程需求。 172nm 深紫外黑科技(kējì) 可高效分解晶圆表面有机残留，提升洁净度与附着性能(xìngnéng)，为封装、清洗等工艺提供稳定(wěndìng)前处理方案。 极简结构，桌面级准分子实验(shíyàn)新体验 由于传统准分子(zhǔnfènzǐ)(zhǔnfènzǐ)光辐照器因高纯度(gāochúndù) N₂填充结构复杂，难以实现桌面(zhuōmiàn)级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计(shèjì)，打破空间与成本壁垒，助力高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发需求(xūqiú)。 封装(fēngzhuāng)工艺表面清洁处理 超净化超微细清洗(qīngxǐ)工艺验证 172nm 系列全线亮相(liàngxiàng)共襄盛会 除新品发布外，广明源还将展出多(duō)款172nm准分子系列光源与模组产品，覆盖晶圆清洗、半导体基材表面(biǎomiàn)活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化(yōuhuà)与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列光源(guāngyuán) 172nm准分子系列模组及设备(shèbèi) SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎半导体制造企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临(lìlín)参观交流(jiāoliú)，现场了解172nm准分子光科技在半导体制造领域的多元(duōyuán)应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会 时间：2025年6月(yuè)4-6日 地点(dìdiǎn)：深圳国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网转发此文章，旨在为读者提供更多(duō)信息资讯，所涉内容不构成投资(tóuzī)、消费建议。对文章事实有疑问，请与(yǔ)有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）